Представлена новая технология датчиков на основе инфракрасной спектроскопии для экологического мониторинга промышленных загрязнителей (диоксид углерода, оксид углерода, оксидов азота и другие), принцип конструкции которых использует теплоизолированные мостовые структуры на основе кремния. Такие устройства, которые могут быть и эмиттерами, и детекторами, изготавливают по методу обработки на основе MEMS. Модифицированные поверхности с фотонными зазорами обеспечивают эмиссию узкополосного инфракрасного излучения с высокой селективностью и чувствительностью. Спектральную настройку выполняют с сохранением симметрии и расположения решетки структур фотонных зазоров. Исследования методом инфракрасной спектроскопии использовали для определения свойств спектров передачи, абсорбции и эмиссии в интервале длин волны 2-20 мкм. В системе датчиков пользуются чипами датчиков эммиттера и детектора с газовой ячейкой и отражательной оптики. Дана схема процесса инфракрасной спектроскопии уже данной технологии.